Uglerod tetraflorid (CF4)

Texnik parametrlar

Uglerod tetraflorid - CF4 kimyoviy formulasi bilan halogenlangan uglevodorod. Bu halogenlangan uglevodorod, galogenlangan metan, perftoruglerod yoki noorganik birikma sifatida qaralishi mumkin. Uglerod tetraflorid rangsiz va hidsiz gaz, suvda erimaydi, benzol va xloroformda eriydi. Oddiy harorat va bosim ostida barqaror, kuchli oksidlovchilardan, yonuvchan yoki yonuvchan materiallardan saqlaning. Yonuvchan bo'lmagan gaz, yuqori issiqlik ta'sirida idishning ichki bosimi ortadi va yorilish va portlash xavfi mavjud. U kimyoviy jihatdan barqaror va yonmaydi. Xona haroratida faqat suyuq ammiak-natriyli metall reagent ishlay oladi. Uglerod tetraflorid issiqxona effektini keltirib chiqaradigan gazdir. Bu juda barqaror, atmosferada uzoq vaqt qolishi mumkin va juda kuchli issiqxona gazidir. Uglerod tetraflorid turli xil integral mikrosxemalar plazmasini qirqish jarayonida qo'llaniladi. U lazer gazi sifatida ham ishlatiladi va past haroratli sovutgichlarda, erituvchilarda, moylash materiallarida, izolyatsiyalash materiallarida va infraqizil detektorlar uchun sovutgichlarda qo'llaniladi. Bu mikroelektronika sanoatida eng ko'p qo'llaniladigan plazma qirqish gazidir. Bu tetraflorometan yuqori toza gaz va tetraflorometan yuqori toza gaz va yuqori toza kislorod aralashmasi. U kremniy, kremniy dioksidi, silikon nitridi va fosfosilikat oynasida keng qo'llanilishi mumkin. Volfram va volfram kabi yupqa plyonkali materiallarni bosish elektron qurilmalarning sirtini tozalash, quyosh batareyasini ishlab chiqarish, lazer texnologiyasi, past haroratli sovutish, qochqinlarni tekshirish va bosilgan elektron ishlab chiqarishda yuvish vositalarida keng qo'llaniladi. Integral mikrosxemalar uchun past haroratli sovutgich va plazma quruq qirqish texnologiyasi sifatida ishlatiladi. Saqlashda ehtiyot choralari: Salqin, shamollatiladigan yonmaydigan gaz omborida saqlang. Yong'in va issiqlik manbalaridan uzoqroq tuting. Saqlash harorati 30 ° C dan oshmasligi kerak. U oson (yonuvchi) yonuvchi va oksidlovchi moddalardan alohida saqlanishi va aralash saqlashdan qochish kerak. Saqlash joyi qochqinning favqulodda davolash uskunalari bilan jihozlangan bo'lishi kerak.

Ilova:

① Sovutgich:

Tetraflorometan ba'zan past haroratli sovutgich sifatida ishlatiladi.

② Naqsh:

U elektronika mikrofabrikasida yakka o'zi yoki kislorod bilan birgalikda kremniy, kremniy dioksidi va kremniy nitridi uchun plazma oqartiruvchi sifatida ishlatiladi.

Oddiy paket:

Afzallik:

①Yuqori soflik, eng yangi qurilma;

②ISO sertifikati ishlab chiqaruvchisi;

③Tez yetkazib berish;

④Har bir bosqichda sifat nazorati uchun onlayn tahlil tizimi;

⑤Tsilindrni to'ldirishdan oldin ishlov berish uchun yuqori talab va sinchkovlik bilan jarayon;