Ultra yuqori tozalikdagi (UHP) gazlar yarimo'tkazgichlar sanoatining asosiy manbaidir. Misli ko'rilmagan talab va global ta'minot zanjirlaridagi uzilishlar ultra yuqori bosimli gaz narxini oshirib yuborganligi sababli, yangi yarimo'tkazgichlarni loyihalash va ishlab chiqarish amaliyotlari zarur bo'lgan ifloslanishni nazorat qilish darajasini oshirmoqda. Yarimo'tkazgich ishlab chiqaruvchilari uchun UHP gazining tozaligini ta'minlash har qachongidan ham muhimroq.

Ultra yuqori tozalik (UHP) gazlari zamonaviy yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishda juda muhim ahamiyatga ega

UHP gazining asosiy qo'llanilishlaridan biri inertizatsiya hisoblanadi: UHP gazi yarimo'tkazgich komponentlari atrofida himoya atmosferasini yaratish va shu bilan ularni atmosferadagi namlik, kislorod va boshqa ifloslantiruvchi moddalarning zararli ta'siridan himoya qilish uchun ishlatiladi. Biroq, inertizatsiya gazlar yarimo'tkazgich sanoatida bajaradigan ko'plab turli funktsiyalardan biridir. Birlamchi plazma gazlaridan tortib, o'yib ishlov berish va tavlashda ishlatiladigan reaktiv gazlargacha, ultra yuqori bosimli gazlar ko'plab turli maqsadlarda ishlatiladi va yarimo'tkazgich ta'minot zanjiri davomida juda muhimdir.

Yarimo'tkazgichlar sanoatidagi ba'zi "asosiy" gazlar quyidagilarni o'z ichiga oladiazot(umumiy tozalash va inert gaz sifatida ishlatiladi),argon(o'yib ishlov berish va cho'ktirish reaksiyalarida birlamchi plazma gazi sifatida ishlatiladi),geliy(maxsus issiqlik uzatish xususiyatlariga ega inert gaz sifatida ishlatiladi) vavodorod(tavlash, cho'ktirish, epitaksiya va plazma tozalashda bir nechta rol o'ynaydi).

Yarimo'tkazgichlar texnologiyasi rivojlanib va ​​o'zgarib borishi bilan ishlab chiqarish jarayonida ishlatiladigan gazlar ham o'zgardi. Bugungi kunda yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish zavodlari turli xil gazlardan, jumladan, olijanob gazlardan, masalan,kriptonvaneonazot triflorid (NF3) va volfram geksaflorid (WF6) kabi reaktiv turlarga.

Poklikka bo'lgan talabning ortishi

Birinchi tijorat mikrochipi ixtiro qilinganidan beri dunyo yarimo'tkazgichli qurilmalarning ishlashida hayratlanarli darajada eksponensial o'sishga guvoh bo'ldi. So'nggi besh yil ichida ushbu turdagi ishlashni yaxshilashning eng ishonchli usullaridan biri "o'lchamlarni masshtablash" orqali bo'ldi: ma'lum bir makonga ko'proq tranzistorlarni sig'dirish uchun mavjud chip arxitekturalarining asosiy o'lchamlarini kamaytirish. Bunga qo'shimcha ravishda, yangi chip arxitekturalarining rivojlanishi va eng zamonaviy materiallardan foydalanish qurilmalarning ishlashida sakrashlarga olib keldi.

Bugungi kunda zamonaviy yarimo'tkazgichlarning muhim o'lchamlari shunchalik kichikki, o'lchamlarni masshtablash endi qurilmalarning ishlashini yaxshilashning samarali usuli emas. Buning o'rniga, yarimo'tkazgich tadqiqotchilari yangi materiallar va 3D chip arxitekturalari ko'rinishidagi yechimlarni qidirmoqdalar.

O'nlab yillar davomida tinimsiz qayta loyihalash bugungi yarimo'tkazgich qurilmalari eski mikrochiplarga qaraganda ancha kuchliroq ekanligini anglatadi - ammo ular yanada mo'rtroq hamdir. 300 mm plastinka ishlab chiqarish texnologiyasining paydo bo'lishi yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish uchun zarur bo'lgan aralashmalarni nazorat qilish darajasini oshirdi. Ishlab chiqarish jarayonidagi eng kichik ifloslanish ham (ayniqsa, noyob yoki inert gazlar) uskunaning halokatli ishdan chiqishiga olib kelishi mumkin - shuning uchun gazning sofligi endi har qachongidan ham muhimroq.

Odatdagi yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish zavodi uchun ultra yuqori tozalikdagi gaz kremniydan keyin eng katta material xarajatlari hisoblanadi. Bu xarajatlar faqat yarimo'tkazgichlarga talab yangi cho'qqilarga ko'tarilishi bilan ortishi kutilmoqda. Yevropadagi voqealar keskin ultra yuqori bosimli tabiiy gaz bozorida qo'shimcha buzilishlarga olib keldi. Ukraina dunyodagi eng yirik yuqori tozalikdagi gaz eksportchilaridan biridir.neonbelgilar; Rossiyaning bosqini noyob gaz ta'minoti cheklanayotganini anglatadi. Bu o'z navbatida boshqa olijanob gazlarning tanqisligi va narxlarining oshishiga olib keldi, masalankriptonvaksenon.