Ultra-yuqori poklik (UHP) gazlar yarimo'tkazgich sanoatining hayotidir. Mitsimal ta'minlanmagan talab va global ta'minot zanjirlariga uzatiladigan uzilishlar ultra yuqori bosimli gaz narxini, yangi yarimo'tkazgichlar dizayni va ishlab chiqarish amaliyotini pasaytiradi. Yarimo'tkazgich ishlab chiqaruvchilari uchun UHP gazining tozaligi har qachongidan ham muhimroqdir.

Zamonaviy yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda ultra yuqori poklik (UHP) gazlari juda muhimdir

UHP Gazning asosiy dasturlaridan biri - yarimo'tkazgich komponentlari atrofida himoya muhitini ta'minlash uchun ishlatiladi, shu bilan atmosferadagi namlik, kislorod va boshqa ifloslantiruvchi moddalarning zararli ta'siridan ularni himoya qiladi. Biroq, inertatsiya yarimo'tkazgichlar sanoatida gaz chiqaradigan turli xil funktsiyalardan biri. Birlamchi plazma gazlaridan tortib va ​​yumshatish va yumshatish uchun ishlatiladigan reaktiv gazlardan, ultra yuqori bosimli gazlar turli xil maqsadlarda qo'llaniladi va yarimo'tkazgichlar etkazib berish zanjiri davomida juda muhimdir.

Yarimo'tkazgichlar sanoatida ba'zi "yadro" gazlari o'z ichiga oladiazot(umumiy tozalash va inert gazi sifatida ishlatiladi),argon(Etish va cho'kish reaktsiyalarida asosiy plazma gazi sifatida ishlatiladi),geliy(maxsus issiqlik uzatish xususiyatlari bo'lgan inert gazi sifatida ishlatiladi) vavodorod(yumshatish, yotqizishda, epitaxy va plazma tozalashda bir nechta rol o'ynaydi).

Yarimo'tkazgichlar texnologiyasi rivojlangan va o'zgarganidek, ishlab chiqarish jarayonida ishlatiladigan gazlar. Bugungi kunda yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish ko'plab gazlar turli xil gazlardan foydalanadi, bu kabi ezgu gazlardan foydalanadikristtonvaneonAzotni trifluorid (nf 3) va volfram gekafluorid kabi reaktiv turlarga (WF 6).

Tozani oshirish uchun talab ortib borayotgan talab

Birinchi tijorat mikrochip ixtiro qilinganidan beri, dunyo yarimo'tkazgich qurilmalarini bajarishda eng yaxshi ko'rinishga ega bo'lishiga guvoh bo'ldi. So'nggi besh yil ichida ushbu turdagi faoliyatni takomillashtirishning eng yaxshi usullaridan biri "o'lchamlarni o'lchash" orqali amalga oshirildi: Mavjud chip arxitekturalarining asosiy yo'nalishini ma'lum bo'sh joyga qisqartirish uchun. Bundan tashqari, yangi chip arxitekturalarining rivojlanishi va zamonaviy materiallardan foydalanish qurilmalarning ishlashiga qaratilgan.

Bugungi kunda kesish davrining yarimo'kigistrlarining muhim o'lchamlari endi unchalik kichik emas, bu o'lchamdagi o'lchamlari endi qurilmaning ishlashini yaxshilash uchun yaroqlidir. Buning o'rniga yarimo'tkazgichlar yangi materiallar va 3D chip arxitekturalari shaklida echimlarni qidirmoqdalar.

Taslimsiz qayta loyihalashning o'n yillari bugungi yarimo'tkazgich qurilmalari eski mikokorlardan ancha kuchli - ammo ular ko'proq mo'rt. 300 mm vannadan tayyorlangan texnologiyasining kelishi yarimo'tkazgich ishlab chiqarish uchun zarur bo'lgan nopoklikni nazorat qilish darajasini oshirdi. Ishlab chiqarish jarayonida eng kichik ifloslanish (ayniqsa kam yoki inert gazlari) halokatli vositalar etishmovchiligiga olib kelishi mumkin - shuning uchun gaz tozaligi har qachongidan ham muhimroqdir.

Oddiy yarimo'tkazgich uchun uy-joy qurilishi uchun ultra yuqori tozalangan gaz - bu kremniyning o'zi allaqachon eng katta materiallar xarajatlari mavjud. Ushbu xarajatlar faqat yarimo'tkazgichlarga bo'lgan ehtiyoj yangi cho'qqilarga bo'lgan ehtiyojni oshirishi kutilmoqda. Evropadagi voqealar, tatbiq etilishi tabiiy ravishda yuqori bosimli tabiiy gaz bozorida qo'shimcha uzilishlarga olib keldi. Ukraina dunyodagi eng katta pok eksport qiluvchilardan biridirneonbelgilar; Rossiyaning bovasinmasi noyob gaz etkazib berishni ta'minlashni anglatadi. Bu o'z navbatida, masalan, boshqa olijanob gazlarning kamchiliklari va narxlarining yuqori narxlariga olib keldikristtonvaksenon.