Bor triklorid (BCl3)yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishda quruq qirqish va kimyoviy bug'larni cho'ktirish (CVD) jarayonlarida keng qo'llaniladigan noorganik birikma. Bu xona haroratida kuchli o'tkir hidli rangsiz gaz bo'lib, nam havoga sezgir, chunki u gidrolizlanib, xlorid kislotasi va borik kislotasini hosil qiladi.

Bor trixloridning qo'llanilishi

Yarimo'tkazgich sanoatida,Bor trikloridasosan alyuminiyni quruq qirqish uchun va kremniy gofretlarda P tipidagi hududlarni hosil qilish uchun qo'shimcha sifatida ishlatiladi. Bundan tashqari, u GaAs, Si, AlN kabi materiallarni chizish uchun va ma'lum maxsus ilovalarda bor manbai sifatida ishlatilishi mumkin. Bundan tashqari, Bor triklorid metallni qayta ishlash, shisha sanoati, kimyoviy tahlil va laboratoriya tadqiqotlarida keng qo'llaniladi.

Bor trixloridning xavfsizligi

Bor trikloridkorroziy va zaharli bo'lib, ko'z va teriga jiddiy zarar etkazishi mumkin. U nam havoda gidrolizlanib, zaharli vodorod xlorid gazini chiqaradi. Shuning uchun ishlov berishda tegishli xavfsizlik choralarini ko'rish kerakBor triklorid, shu jumladan himoya kiyimlari, ko'zoynaklar va nafas olishni himoya qilish vositalarini kiyish va yaxshi havalandırılan muhitda ishlash.