Bor triklorid (BCl3)yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishda quruq o'yib ishlov berish va kimyoviy bug'lash (CVD) jarayonlarida keng qo'llaniladigan noorganik birikma. Bu xona haroratida kuchli o'tkir hidga ega rangsiz gaz bo'lib, nam havoga sezgir, chunki u gidrolizlanib, xlorid kislota va bor kislotasini hosil qiladi.

Bor trikloridining qo'llanilishi

Yarimo'tkazgichlar sanoatida,Bor trikloridasosan alyuminiyni quruq o'yib ishlov berish va kremniy plitalarida P-tipli mintaqalarni hosil qilish uchun qo'shimcha sifatida ishlatiladi. Bundan tashqari, u GaAs, Si, AlN kabi materiallarni o'yib ishlov berish va ma'lum maxsus dasturlarda bor manbai sifatida ham ishlatilishi mumkin. Bundan tashqari, bor triklorid metallni qayta ishlash, shisha sanoati, kimyoviy tahlil va laboratoriya tadqiqotlarida keng qo'llaniladi.

Bor trikloridining xavfsizligi

Bor trikloridkorroziv va zaharli bo'lib, ko'z va teriga jiddiy zarar yetkazishi mumkin. U nam havoda gidrolizlanib, zaharli vodorod xlorid gazini chiqaradi. Shuning uchun, ulardan foydalanishda tegishli xavfsizlik choralarini ko'rish kerak.Bor triklorid, jumladan, himoya kiyimlari, ko'zoynaklar va nafas olishni himoya qilish vositalarini taqish va yaxshi shamollatiladigan muhitda ishlash.