Epitrace (o'sish)Aralash gas

Yarimo'tkazgichlar sanoatida, ehtiyotkorlik bilan tanlangan substratda kimyoviy bug'ning bir yoki bir necha qatlamini etishtirish uchun ishlatiladigan gaz epitaxial gaz deb ataladi.

Ko'p ishlatiladigan kremxaxial gazlar diklozilik, kremniy tetrachlorid vasilikka. Asosan epitaxial kremnonni, silikon oksmolari plyonkali plyonkalari, silikadagi nitrinali plyonkalarni, amorfli kremniy plyonkalari va boshqalar. Epitaksi - bu bitta kristalli material yotqizilgan va substrat yuzasida o'stiriladigan jarayon.

Kimyoviy bug 'tushirilishi (CVD) aralash gaz

CVD gaz fazasi kimyoviy reaktsiyalaridan foydalangan holda uchastka biriktirilganligi, ya'ni kino shakllantirish usuli, ya'ni kinofilmlar usulidan foydalangan holda ba'zi elementlarni kimyoviy reaktsiyalar to'plash usuli hisoblanadi. Film turiga qarab, kimyoviy bug 'quyish shoxobchasi (CVD) gaz ishlatilgan.

DopingAralash gaz

Yarimo'tkazgich qurilmalari va integral mikrosxemalar ishlab chiqarishda zarur o'tkazuvchanlik turini va hokazolarga ma'lum bir chidamlilikni va hokazolarni ishlab chiqaradigan va boshqalarga yordam beradigan ba'zi aralashmalar.

Asosan, arsen, fosfat, fosfor, pentafluorid, fosfor blanafluorid, Arsenak tifbuorid, Arsenak pentafluorid ham kiradi.Boron trifluorid, Diboran va boshqalar.

Odatda, doping manbasi avtoulovlar kabinetida tashuvchi gaz (masalan, argon va azot) bilan aralashtiriladi. Aralashishdan so'ng, gaz oqimi doimiy ravishda diffuziya pechiga kiritiladi va gofret er yuzida dofliotni o'rab oladi va kremniyga ko'chib o'tadigan dopulyatsiyani keltirib chiqaradi.

ToliqishGaz aralashmasi

Etchlash fotorezist niqobi bo'lmagan holda, bu substrat yuzasida kerakli tasvirlangan tasvirni olish uchun fotorezist niqobi bilan jihozlangan joyda ishlov berish joyini (masalan, metall plyonka, kremniy oksidi va boshqalar).

Etching usullari nam kimyoviy va quruq kimyoviy patchni o'z ichiga oladi. Quruq kimyoviy etchingda ishlatiladigan gaz gazli, deyiladi.

Etching Gaz odatda ftoridli gaz (hal qiluvchi) kabi, masalanuglerod tetrafluorid, azot tomripohi, trifluoretaman, hexafluoroetan, perfluoropropan va boshqalar.