Vodorod xloridoʻtkir hidli rangsiz gazdir. Uning suvli eritmasi xlorid kislota deb ataladi, shuningdek, xlorid kislotasi deb ham ataladi. Vodorod xlorid suvda juda eriydi. 0°C da 1 hajm suv taxminan 500 hajm vodorod xloridni eritishi mumkin.

U quyidagi xususiyatlarga va xususiyatlarga ega:

1. Yuqori tozalik

Elektron sinfning tozaligivodorod xloridyarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish jarayoniga hech qanday aralashmalar kiritilmasligini ta'minlash uchun juda yuqori, odatda ppm yoki undan past darajada.

2. Harakatsizlik

Bu kimyoviy jihatdan inert gaz bo'lib, ko'plab boshqa moddalar bilan reaksiyaga kirishmaydi, bu yarimo'tkazgich materiallari va jihozlarining ifloslanishini oldini olish uchun juda muhimdir.

3. Yuqori barqarorlik

Elektron darajavodorod xloridodatda ishonchli yarimo'tkazgichlarni qayta ishlashni ta'minlash uchun barqaror kimyoga ega.

Yarimo'tkazgichlarni qayta ishlashda elektron navli vodorod xloridning asosiy qo'llanilishi quyidagilardan iborat:

1. Sirtni tozalash va tayyorlash

Samarali sirt tozalash vositasi sifatida, elektron sinfvodorod xloridepitaksial qatlam yoki plyonkaning sifati va tozaligini ta'minlash uchun substrat yuzasidan oksidlar va aralashmalarni olib tashlash uchun ishlatiladi.

2.Epitaksial o'sish uchun yordam

Epitaksial jarayonda sirtni tozalash vositasi sifatida foydalaniladi, u epitaksial qatlamning sifatini yaxshilashga, panjara mosligini yaxshilashga va panjara nuqsonlarining shakllanishini kamaytirishga yordam beradi.

3. Substratga oldindan ishlov berish

Yarimo'tkazgichli qurilmalarni tayyorlashdan oldin, elektron navvodorod xloridepitaksial qatlam va substrat o'rtasidagi yopishqoqlikni yaxshilash uchun barqaror asos yaratish uchun substrat yuzasini davolash uchun ishlatilishi mumkin.

4. Cho'kma yordamchi agenti

Kimyoviy bug 'cho'kishi (CVD) yoki jismoniy bug'ning cho'kishi (PVD) jarayonida elektron gradusli vodorod xlorid yarimo'tkazgichli materiallarning cho'kma reaktsiyasida ishtirok etish uchun gaz fazasini uzatish vositasi sifatida ishlatilishi mumkin.

5. Gaz fazali uzatish agenti

Gaz fazali uzatish agenti sifatida materialning cho'kish tezligi va bir xilligini sozlashda yordam berish uchun reaksiya kamerasiga boshqa gazsimon prekursorlar kiritiladi.

Bu xususiyatlar elektron darajani yaratadivodorod xloridyakuniy qurilmaning ishlashi va ishonchliligiga asosiy ta'sir ko'rsatadigan yarimo'tkazgich texnologiyasida muhim qayta ishlash agenti.

Yarimo'tkazgichlarni qayta ishlashda foydalanishdan tashqari, elektron navli vodorod xlorid boshqa sohalarda turli xil foydalanishni topishi mumkin, jumladan: Yuqori toza materiallarni tayyorlash, Yoqilg'i xujayralari, Yarimo'tkazgich materialining o'sishi, bug 'fazasi litografiyasi, Materiallarni tahlil qilish, Kimyoviy tadqiqotlar.

Umuman olganda, elektron darajavodorod xloridko'p qirrali, yuqori toza gaz bo'lib, yarimo'tkazgich ishlab chiqarishdan tashqarida keng qo'llanilishi mumkin.