Vodorod xloridbu o'tkir hidli rangsiz gaz. Uning suvli eritmasi deb ataladi gidrobet kislotasi, shuningdek, gidrob xlorit kislotasi deb nomlanadi. Vodorod xlorid suvda juda eriydi. 0 ° C da, 1 ta suv 500 ga yaqin vodorodli xloridni eritib yuborishi mumkin.

U quyidagi xususiyatlar va xususiyatlarga ega:

1. Oliy tozalik

Elektron sinflar tozaligiVodorod xloridYarimo'tkazgich ishlab chiqarish jarayoniga hech qanday aralashmalar kiritilmasligi uchun juda yuqori, odatda pppm yoki past darajada.

2. Instrumentnes

Bu yarimo'tkazgich materiallari va jihozlarning ifloslanishiga yo'l qo'ymaslik uchun juda muhim bo'lgan boshqa ko'plab moddalar bilan reaktsiya bermaydigan kimyoviy inertli gaz.

3. Yuqori barqarorlik

Elektron bahoVodorod xloridOdatda barqarorligimetriga ishonchli yarimo'tkazgichni qayta ishlashni ta'minlash.

Yarimo'tkazgichlar qayta ishlashda, elektron nav vodorod xloridining asosiy dasturlari quyidagilardan iborat:

1. Yuzni tozalash va tayyorlash

Samarali sirt tozalagich, elektron sinf sifatidaVodorod xloridepitragial qatlam yoki plyonkaning sifati va pokligini ta'minlash uchun sustratma sirtidan oksidlanish va ifloslanishlarni olib tashlash uchun ishlatiladi.

2.Etitaxial o'sishga yordam

Epitaxial jarayonda sirtni davolash bo'yicha agenti sifatida ishlatiladi, bu epitragial qatlamning sifatini yaxshilashga, panjarani moslashtirishni yaxshilaydi va panjara nuqsonlarini shakllantirishni kamaytiradi.

3

Yarimo'tkazgich qurilmalarini tayyorlashdan oldin elektron sinfVodorod xloridEpitaxial qavat va substrat o'rtasidagi yopishqoqlikni yaxshilash uchun barqaror navni shakllantirish uchun substrat yuzasini shakllantirish uchun ishlatilishi mumkin.

4. Yordamchi agentni cho'ktirish

Kimyoviy bug 'tushirilishi (CVD) yoki jismoniy bug' tushirilishi (PVD), elektron navli vodorodli xlorid yarimo'tkazgich materiallarining depozitda ishtirok etish uchun foydalanish mumkin.

5. Gaz fazali transfer agenti

Gaz fazali transfer agenti sifatida, shuningdek, materialning bir xilligini sozlash va bir xillikni o'zgartirishga yordam beradigan reaktsiya kamerasiga boshqa gazsimon prekursorlar joriy etiladi.

Ushbu xususiyatlar elektron reytingni yaratadiVodorod xloridYarimo'tkazgichlar texnologiyasida muhim qayta ishlash agenti, bu yakuniy qurilmaning ishlashiga va ishonchliligiga jiddiy ta'sir ko'rsatadi.

Yarimo'tkazgichlarni qayta ishlashda qo'shimcha ravishda foydalanishdan tashqari, boshqa sohalarda turli sohalarda turli xil foydani topishi mumkin, shu jumladan: yuqori darajada poklik materiallari, yarimo'tkazgichli moddalar o'sishi, bug fazali litografiya, moddiy-texnik tadqiqotlar.

Umuman olganda, elektron sinfVodorod xloridYarimo'tkazgich ishlab chiqarishdan tashqari keng qamrovli dasturlarga ega ko'p qirrali, yuqori tozalik gazdir.