Vodorod xlorido'tkir hidli rangsiz gazdir. Uning suvli eritmasi xlorid kislotasi deb ataladi, shuningdek, xlorid kislotasi deb ham ataladi. Vodorod xlorid suvda juda eriydi. 0°C da 1 hajm suv taxminan 500 hajm vodorod xloridni eritishi mumkin.

U quyidagi xususiyatlar va xususiyatlarga ega:

1. Yuqori poklik

Elektron sinfning sofligivodorod xloridYarimo'tkazgich ishlab chiqarish jarayoniga hech qanday aralashmalar kiritilmasligini ta'minlash uchun juda yuqori, odatda ppm yoki undan pastroq darajada bo'ladi.

2. Inertlik

Bu kimyoviy jihatdan inert gaz bo'lib, boshqa ko'plab moddalar bilan reaksiyaga kirishmaydi, bu yarimo'tkazgich materiallari va uskunalarining ifloslanishini oldini olish uchun juda muhimdir.

3. Yuqori barqarorlik

Elektron darajavodorod xloridodatda yarimo'tkazgichlarni ishonchli qayta ishlashni ta'minlash uchun barqaror kimyoga ega.

Yarimo'tkazgichlarni qayta ishlashda elektron darajadagi vodorod xloridning asosiy qo'llanilishi quyidagilarni o'z ichiga oladi:

1. Sirtni tozalash va tayyorlash

Samarali sirt tozalagich sifatida, elektron sinfvodorod xloridepitaksial qatlam yoki plyonkaning sifati va sofligini ta'minlash uchun substrat yuzasidan oksidlar va aralashmalarni olib tashlash uchun ishlatiladi.

2. Epitaksial o'sish yordami

Epitaksial jarayonda sirtni tozalash vositasi sifatida ishlatiladigan bu epitaksial qatlam sifatini yaxshilashga, panjara mosligini yaxshilashga va panjara nuqsonlarining shakllanishini kamaytirishga yordam beradi.

3. Substratni oldindan ishlov berish

Yarimo'tkazgichli qurilmalarni tayyorlashdan oldin, elektron darajavodorod xloridepitaksial qatlam va substrat orasidagi yopishishni yaxshilash uchun barqaror asos hosil qilish maqsadida substrat yuzasini qayta ishlash uchun ishlatilishi mumkin.

4. Cho'ktirish yordamchi agenti

Kimyoviy bug'larni cho'ktirish (CVD) yoki fizik bug'larni cho'ktirish (PVD) jarayonida elektron darajadagi vodorod xlorid yarimo'tkazgich materiallarini cho'ktirish reaksiyasida ishtirok etish uchun gaz fazasini uzatish vositasi sifatida ishlatilishi mumkin.

5. Gaz fazasini o'tkazuvchi agent

Gaz fazasini o'tkazuvchi vosita sifatida, materialning cho'kish tezligi va bir xilligini sozlash uchun reaksiya kamerasiga boshqa gazsimon prekursorlar kiritiladi.

Bu xususiyatlar elektron darajani belgilaydivodorod xloridYarimo'tkazgichlar texnologiyasida muhim ishlov berish agenti bo'lib, u yakuniy qurilmaning ishlashi va ishonchliligiga muhim ta'sir ko'rsatadi.

Yarimo'tkazgichlarni qayta ishlashda qo'llanilishidan tashqari, elektron darajadagi vodorod xlorid boshqa sohalarda ham turli xil qo'llanilishi mumkin, jumladan: Yuqori tozalikdagi materiallarni tayyorlash, Yoqilg'i xujayralari, Yarimo'tkazgich materiallarini o'stirish, Bug 'fazasi litografiyasi, Materiallarni tahlil qilish, Kimyoviy tadqiqotlar.

Umuman olganda, elektron darajavodorod xloridyarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishdan tashqarida keng qo'llaniladigan ko'p qirrali, yuqori tozalikdagi gazdir.