Nisbatan rivojlangan ishlab chiqarish jarayoni, deyarli 50 ga yaqin gaz turlari kerak. Gazlar odatda ommaviy gazlarga bo'lingan vaMaxsus gazlar.

Mikroelektronika va yarimo'tkazgichlarda gazlarni qo'llash Yarimo'tkazgichlar jarayonlarida har doim gazlardan foydalanish har doim muhim rol o'ynadi, ayniqsa yarimo'tkazgich jarayoni turli sohalarda keng qo'llaniladi. Ulsi, TFT-LCD-dan hozirgi mikro elektromexanik (MEMS) sanoatiga, yarimo'tkazgich ishlab chiqarish jarayonlari, shu jumladan quruq va oksidlanish, ion implantatsiya, ingichka plyonka yassi va boshqalar sifatida yarimo'tkazgich sifatida ishlatiladi.

Masalan, ko'plab odamlar qumdan yasalgan, ammo chip ishlab chiqarish jarayoniga qarab, fotorezist, sayqallash suyuqligi, maxsus gaz va boshqalar kabi ko'proq materiallar kerak. Orqaga qadoqlash, shuningdek substratlar, interporerlar, etakchi ramkalar, bog'lovchi materiallar va boshqa materiallarni talab qiladi. Elektron maxsus gazlar yarim semizlik ishlab chiqarishning ikkinchi yirik materialidir, kremniy chayqalganidan keyin niqoblar va fotoresistlar.

Gazning tozaligi tarkibiy qismlarga komponentning ishlashi va mahsuldorligi va gaz ta'minoti xavfsizligi xodimlarning salomatligi va zavodning ishlashi bilan bog'liq. Nima uchun gazning pokligi jarayon chizig'iga va xodimlarga bunday katta ta'sir ko'rsatadi? Bu mubolag'a emas, balki gazning xavfli xususiyatlari bilan belgilanadi.

Yarimo'tkazgichlar sanoatida umumiy gazlarning tasnifi

Oddiy gaz

Oddiy gaz deb ataladi: u 5n dan past va katta ishlab chiqarish va sotish hajmi past bo'lgan sanoat gaziga tegishli. Buni turli xil preparatning turli usullariga ko'ra havo ajratish va sintetik gazga bo'lish mumkin. Vodorod (H2), azot (N2), kislorod (O2), Argon (A2) va boshqalar;

Mutaxassisligi

Mutaxassisligi Ixtisoslashgan gazning ma'lum bir sohalarda qo'llaniladigan sanoat gaziga tegishli va poklik, xilma-xillik va xususiyatlarga alohida talablarga ega. AsosanSIH4, PH3, B2H6, A8H3,Hcl, CF4,Nx3, Potl3, SIC2CLL2, SIHCL3,Nx3, BLCL3, Sif4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6… va hokazo.

Suv gazlari turlari

Maxsus gazlar turlari: korroziya, toksik, yonuvchan, yonish-yonish-qo'llab-quvvatlash, inert va boshqalar.
Odatda ishlatilgan yarimo'tkazgichli gazlar quyidagicha tasniflanadi:
(i) Korroziy / toksik:Hcl, Bf3, wf6, hb, SIH2CL2, NH3, PHST3, CL2,BLCL3...
(ii) Yonuvchan: H2,Ch4,SIH4, Ph3, Ash3, SIH2CLL2, B2H6, CH2F2, CO ...
(iii) yoniluvchan: O2, CL2, N2O, NF3 ...
(iv) inert: n2,CF4, C2F6,C4F8,SF6, CO2,Ne,Kr, U ...

Yarimo'tkazgichli chip ishlab chiqarish jarayonida, taxminan 50 xil maxsus gazlar (maxsus gazlar deb ataladigan maxsus) oksidlanish, diffuziya, potolitografiya va boshqa jarayonlarda qo'llaniladi va umumiy jarayonning qadamlari yuzlab ko'p. Masalan, Ph3 va Ash3 fosfor va "Arsenak" va "Ars" gazetasi, ChF3, SF6, NH3, NH3, N2o, F2 / KR / NE Photolithografiya jarayonida.

Yuqoridagi jihatlardan biz ko'p sonli yarimo'tkazgichlar inson tanasiga zararli ekanligini tushunishimiz mumkin. Xususan, SIH4 kabi ba'zi gazlar o'z-o'zini rad etishmoqda. Ular oqarib ketganda, ular havoda kislorod bilan munosabatda bo'lishadi va yonishni boshlaydilar; va Ash3 juda zaharli. Har qanday engil oqish odamlarning hayotiga zarar etkazishi mumkin, shuning uchun maxsus gazlarni qo'llash uchun boshqarish tizimini boshqarishning talablari ayniqsa yuqori.

Yarimo'tkazgichlar "uch daraja" ga ega bo'lish uchun yuqori tozalik gazlarini talab qiladi

Gaz tozaligi

Gazda atmosfera atmosferasi tarkibi odatda 99.999% kabi gaz tozati foizi sifatida ifodalanadi. Umuman olganda, elektron maxsus gazlarni tozalashning tozaligi 5N-6n ga etadi va atmosfera tarkibidagi Atmosfera tarkibidagi PPM (bir million dona) va ppt (bir milliarddan bir qismi) bilan ifodalanadi. Elektron yarimo'tkazgichli sohasi maxsus gazlarning tozaligi va sifatli barqarorligiga yuqori talablarga ega va elektron maxsus gazlarning tozaligi 6n dan katta.

Quruqlik

Gaz yoki namlikdagi iz yoki namlikdagi saralash mazmuni odatda atmosfera shudring punkti kabi shudgorli punktda ifodalanadi.

Tozalik

Gazdagi ifloslantiruvchi zarralar soni mkm o'lchamidagi zarrachalar soni qancha zarra / m3 qancha. Siqilgan havo uchun odatda, yog 'tarkibini o'z ichiga olgan muqarrar qattiq qoldiqlarning mg / m3 da ifodalanadi.