2018-yilda integral mikrosxemalar uchun global elektron gaz bozori 4,512 milliard AQSh dollariga yetdi, bu o'tgan yilga nisbatan 16% ga o'sishdir. Yarimo'tkazgichlar uchun elektron maxsus gaz sanoatining yuqori o'sish sur'ati va ulkan bozor hajmi elektron maxsus gazni ichki almashtirish rejasini tezlashtirdi!
Elektron gaz nima?
Elektron gaz yarimo'tkazgichlar, yassi panelli displeylar, yorug'lik chiqaradigan diodlar, quyosh batareyalari va boshqa elektron mahsulotlar ishlab chiqarishda ishlatiladigan asosiy manba materialini anglatadi va tozalash, o'yib ishlov berish, plyonka hosil qilish, qo'shimchalar va boshqa jarayonlarda keng qo'llaniladi. Elektron gazning asosiy qo'llanilish sohalari elektronika sanoati, quyosh batareyalari, mobil aloqa, avtomobil navigatsiyasi va avtomobil audio va video tizimlari, aerokosmik, harbiy sanoat va boshqa ko'plab sohalarni o'z ichiga oladi.
Elektron maxsus gaz o'zining kimyoviy tarkibiga ko'ra yetti toifaga bo'linishi mumkin: kremniy, mishyak, fosfor, bor, metall gidrid, galogenid va metall alkoksid. Integral mikrosxemalarda turli xil qo'llanilish usullariga ko'ra, uni qo'shimcha gaz, epitaksiya gazi, ion implantatsiya gazi, yorug'lik chiqaradigan diod gazi, o'yib ishlangan gaz, kimyoviy bug' cho'ktirish gazi va balans gaziga bo'lish mumkin. Yarimo'tkazgichlar sanoatida 110 dan ortiq maxsus gazlar qo'llaniladi, ulardan 30 dan ortig'i keng tarqalgan.
Odatda, yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish sanoati gazlarni ikki turga ajratadi: oddiy gazlar va maxsus gazlar. Ular orasida keng tarqalgan gaz markazlashtirilgan ta'minotni anglatadi va N2, H2, O2, Ar, He va boshqalar kabi ko'p gazdan foydalanadi. Maxsus gaz yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish jarayonida ishlatiladigan ba'zi kimyoviy gazlarni, masalan, kengaytirish, ion in'ektsiyasi, aralashtirish, yuvish va niqob hosil qilish kabi gazlarni anglatadi, bu biz hozirda elektron maxsus gaz deb ataydigan narsadir, masalan, yuqori tozalikdagi SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 va boshqalar.
Yarimo'tkazgichlar sanoatining butun ishlab chiqarish jarayonida, chip ishlab chiqarishdan tortib, qurilmaning yakuniy qadoqlashigacha, deyarli har bir aloqa elektron maxsus gazdan ajralmasdir, ishlatiladigan gazning xilma-xilligi va yuqori sifat talablari, shuning uchun elektron gaz yarimo'tkazgich materiallariga ega. "Oziq-ovqat".
So'nggi yillarda Xitoyning yarimo'tkazgichlar va displey panellari kabi asosiy elektron komponentlari yangi ishlab chiqarish quvvatlarini oshirdi va elektron kimyoviy materiallarni import o'rnini bosishga katta talab mavjud. Yarimo'tkazgichlar sanoatida elektron gazlarning o'rni tobora ko'proq e'tiborga sazovor bo'lmoqda. Mahalliy elektron gaz sanoati tez o'sishga olib keladi.
Elektron maxsus gazning tozalikka bo'lgan talablari juda yuqori, chunki agar tozalik talablarga javob bermasa, elektron maxsus gazdagi suv bug'i va kislorod kabi nopoklik guruhlari yarimo'tkazgich yuzasida osongina oksid plyonkasini hosil qiladi, bu elektron qurilmalarning ishlash muddatiga ta'sir qiladi va elektron maxsus gaz tarkibida nopoklik zarralari yarimo'tkazgichlarning qisqa tutashuvi va kontaktlarning shikastlanishiga olib kelishi mumkin. Aytish mumkinki, tozalikni oshirish elektron qurilmalar ishlab chiqarish samaradorligi va samaradorligida muhim rol o'ynaydi.
Yarimo'tkazgichlar sanoatining uzluksiz rivojlanishi bilan chip ishlab chiqarish jarayoni takomillashib bormoqda va endi u 5 nm ga yetdi, bu Mur qonunining chegarasiga yaqinlashmoqda, bu inson sochining diametrining yigirma bir qismiga (taxminan 0,1 mm) teng. Shuning uchun, bu yarimo'tkazgichlar tomonidan ishlab chiqarilgan elektron maxsus gazning sofligiga yuqori talablarni ham qo'yadi.
Nashr vaqti: 2021-yil 15-dekabr
