2018 yilda integral mikrosxemalar uchun global elektron gaz bozori 4,512 milliard AQSh dollarini tashkil etdi, bu o'tgan yilning shu davriga nisbatan 16 foizga o'sdi. Yarimo'tkazgichlar uchun elektron maxsus gaz sanoatining yuqori o'sish sur'ati va katta bozor hajmi elektron maxsus gazni mahalliy almashtirish rejasini tezlashtirdi!
Elektron gaz nima?
Elektron gaz yarimo'tkazgichlar, tekis panelli displeylar, yorug'lik chiqaradigan diodlar, quyosh batareyalari va boshqa elektron mahsulotlarni ishlab chiqarishda ishlatiladigan asosiy manba materialiga tegishli bo'lib, tozalash, kesish, plyonka hosil qilish, doping va boshqa jarayonlarda keng qo'llaniladi. Elektron gazning asosiy qo'llanilishi elektronika sanoati, quyosh batareyalari, mobil aloqa, avtomobil navigatsiyasi va avtomobil audio va video tizimlari, aerokosmik, harbiy sanoat va boshqa ko'plab sohalarni o'z ichiga oladi.
Elektron maxsus gazni o'zining kimyoviy tarkibiga ko'ra etti toifaga bo'lish mumkin: kremniy, mishyak, fosfor, bor, metall gidrid, halid va metall alkoksidi. Integral mikrosxemalardagi turli xil qo'llash usullariga ko'ra, uni doping gazi, epitaksiya gazi, ion implantatsiyasi gazi, yorug'lik chiqaradigan diodli gaz, o'q gazi, kimyoviy bug'larni cho'ktiruvchi gaz va muvozanat gaziga bo'lish mumkin. Yarimo'tkazgich sanoatida 110 dan ortiq birlik maxsus gazlar qo'llaniladi, ulardan 30 dan ortig'i odatda qo'llaniladi.
Umuman olganda, yarimo'tkazgich ishlab chiqarish sanoati gazlarni ikki turga ajratadi: umumiy gazlar va maxsus gazlar. Ular orasida keng tarqalgan ishlatiladigan gaz markazlashtirilgan ta'minotni nazarda tutadi va N2, H2, O2, Ar, He va boshqalar kabi juda ko'p gazni ishlatadi. Maxsus gaz yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish jarayonida ishlatiladigan ba'zi kimyoviy gazlarga tegishlidir, masalan. kengaytirish, ion in'ektsiyasi, aralashtirish, yuvish va niqob hosil qilish, bu biz hozir elektron maxsus gaz deb ataladigan narsadir, masalan, yuqori toza SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 va boshqalar.
Yarimo'tkazgich sanoatining butun ishlab chiqarish jarayonida, chip o'sishidan yakuniy qurilma qadoqlashgacha, deyarli har bir havola elektron maxsus gazdan ajralmas va ishlatiladigan gazning xilma-xilligi va yuqori sifat talablari, shuning uchun elektron gaz yarimo'tkazgichli materiallarga ega. "Oziq-ovqat".
So'nggi yillarda Xitoyning yarimo'tkazgichlar va displey panellari kabi asosiy elektron komponentlari yangi ishlab chiqarish quvvatlarini oshirdi va elektron kimyoviy materiallarning import o'rnini bosish uchun kuchli talab mavjud. Yarimo'tkazgich sanoatida elektron gazlarning o'rni tobora ortib bormoqda. Mahalliy elektron gaz sanoati tez o'sishni ta'minlaydi.
Elektron maxsus gazning tozaligi uchun juda yuqori talablar mavjud, chunki agar tozalik talablarga javob bermasa, elektron maxsus gazdagi suv bug'i va kislorod kabi nopoklik guruhlari yarimo'tkazgich yuzasida osonlikcha oksidli plyonka hosil qiladi, bu esa gazga ta'sir qiladi. elektron qurilmalarning xizmat muddati va elektron maxsus gaz tarkibiga kiruvchi aralashmalar zarralari yarimo'tkazgichning qisqa tutashuvi va kontaktlarning zanglashiga olib kelishi mumkin. Aytish mumkinki, tozalikni yaxshilash elektron qurilmalar ishlab chiqarishning hosildorligi va ishlashida muhim rol o'ynaydi.
Yarimo'tkazgich sanoatining uzluksiz rivojlanishi bilan chip ishlab chiqarish jarayoni takomillashishda davom etmoqda va endi u 5 nm ga etdi, bu Mur qonunining chegarasiga yaqinlashmoqda, bu inson sochining yigirmadan bir qismiga tengdir ( taxminan 0,1 mm). Shu sababli, bu yarimo'tkazgichlar tomonidan ishlab chiqarilgan elektron maxsus gazning tozaligiga ham yuqori talablarni qo'yadi.
Yuborilgan vaqt: 2021-yil 15-dekabr
