Eng katta miqdordagi elektron gaz - azot trifluorid NF3

Mamlakatimizning yarimo'tkazgich va paneli yuqori darajada farovonlikni saqlab turadi. Azotning tifluoridi, panellar va yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish va qayta ishlashda ajralmas va eng katta hajmli maxsus elektron gaz keng bozor maydoniga ega.

Ko'p ishlatiladigan ftorni o'z ichiga olgan maxsus elektron gazlar o'z ichiga oladiOltingugurt hexafluorid (SF6), volfram hexafluorid (WF6),Uglerod tetrafluorid (CF4), Trifluoretaman (ChF3), azotli Trifluorid (NF3), Hexafluoroetan (C2F6) va Octafluoroproope (C3F8). Azotni trifluorid (NF3) asosan vodorod florid-floridli floridli ftoridni yuqori energiyali lazerlar uchun ftororin manbai sifatida ishlatiladi. H2-O2 va F2 orasidagi reaktsiya energiyasining samaradorligi (taxminan 25%) lazer nurlari bilan chiqarilishi mumkin, shuning uchun HF-ning eng istiqbollari kimyoviy lazerlar orasida eng istiqbolli lazerga ega.

Azotni tifluorid mikroelektronika sohasidagi a'lo plazma plazmasi. Silikon va kremniy nitridi, azot tomrig'ida nitrot tifluoridi uglerod tetrafluorid va uglerod tetrafluorid va kislorod aralashmasidan yuqori bo'lgan va uglerod tetrafluorid va kislorod aralashmasidan yuqori bo'lgan va uning yuzasi ifloslanishiga nisbatan yuqori qatlamli tiflik va pensionlik yuqori. Ayniqsa, integral fitna materiallarini qalinligi bilan, azot tomripegluoridi juda yaxshi qatlamli kursi va tanlab olish darajasi juda yaxshi, shuningdek, u juda yaxshi tozalovchi vositani qoldiradi. Nanotexnologiya rivojlanishi va elektronika sanoatining keng ko'lamli rivojlanishi bilan kundan-kunga ko'tariladi.

♪ _2024126103111

Ftorni o'z ichiga olgan maxsus gaz turlari, azotli trifluorid (NF3) bozordagi eng yirik elektron gaz mahsuloti hisoblanadi. Bu xona haroratida kisloroddan ko'ra faolroq, ftordan ko'ra qulayroq va yuqori haroratda ishlash oson.

Azotni trifluorid asosan yarim omborxonalar, optik tolalar, optik tolalar, fotovoltaik hujayralar va boshqa sohalar uchun mos keladigan plazma va reaktsion vositasi sifatida ishlatiladi.

Boshqa ftor gazlari bilan solishtirganda, azot tomripegiyasining afzalliklari, ayniqsa kremniy namoyishi afzalliklariga ega, shuningdek, silikon - bu juda yaxshi samaradorlik bor, shuningdek, bu juda yaxshi tozalovchi vositadir Jarayon.


O'tish vaqti: 1-Dekabrdan 1-dekabr