Mamlakatimizning yarimo'tkazgichlar sanoati va panel sanoati yuqori darajada gullab-yashnamoqda. Panellar va yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish va qayta ishlashda ajralmas va eng katta hajmdagi maxsus elektron gaz sifatida azot triflorid keng bozor maydoniga ega.
Tez-tez ishlatiladigan ftor o'z ichiga olgan maxsus elektron gazlar quyidagilarni o'z ichiga oladioltingugurt geksafloridi (SF6), volfram geksaflorid (WF6),uglerod tetraflorid (CF4), triflorometan (CHF3), azot triflorid (NF3), geksafloroetan (C2F6) va oktaftloropropan (C3F8). Azot triflorid (NF3) asosan vodorod ftorid-ftorid gazli yuqori energiyali kimyoviy lazerlar uchun ftor manbai sifatida ishlatiladi. H2-O2 va F2 orasidagi reaksiya energiyasining samarali qismi (taxminan 25%) lazer nurlanishi orqali ajralib chiqishi mumkin, shuning uchun HF-OF lazerlari kimyoviy lazerlar orasida eng istiqbolli lazerlardir.
Azot triflorid mikroelektronika sanoatida ajoyib plazma o'ymakorligi gazidir. Kremniy va kremniy nitridini o'ymakorlik qilish uchun azot triflorid uglerod tetrafloridiga va uglerod tetraflorid va kislorod aralashmasiga qaraganda yuqori o'ymakorlik tezligi va selektivligiga ega va sirtni ifloslantirmaydi. Ayniqsa, qalinligi 1,5 mikrondan kam bo'lgan integral mikrosxemalar materiallarini o'ymakorlik qilishda azot triflorid juda yaxshi o'ymakorlik tezligi va selektivligiga ega, o'ymakorlik qilingan obyekt yuzasida hech qanday qoldiq qoldirmaydi va shuningdek, juda yaxshi tozalash vositasidir. Nanotexnologiya rivojlanishi va elektronika sanoatining keng ko'lamli rivojlanishi bilan unga bo'lgan talab kundan-kunga ortib boradi.
Ftor o'z ichiga olgan maxsus gaz turi sifatida azot triflorid (NF3) bozordagi eng yirik elektron maxsus gaz mahsulotidir. U xona haroratida kimyoviy jihatdan inert, kisloroddan faolroq, ftordan barqarorroq va yuqori haroratda ishlov berish oson.
Azot triflorid asosan plazma o'ymakorligi gazi va reaksiya kamerasini tozalash vositasi sifatida ishlatiladi, yarimo'tkazgich chiplari, yassi panelli displeylar, optik tolalar, fotovoltaik hujayralar va boshqalar kabi ishlab chiqarish sohalari uchun mos keladi.
Boshqa ftor o'z ichiga olgan elektron gazlar bilan solishtirganda, azot triflorid tez reaksiya va yuqori samaradorlik kabi afzalliklarga ega, ayniqsa kremniy nitridi kabi kremniy o'z ichiga olgan materiallarni o'yishda, u yuqori o'yish tezligi va selektivlikka ega, o'yilgan buyum yuzasida hech qanday qoldiq qoldirmaydi, shuningdek, juda yaxshi tozalash vositasi bo'lib, u sirtni ifloslantirmaydi va qayta ishlash jarayonining ehtiyojlarini qondira oladi.
Nashr vaqti: 2024-yil 26-dekabr
