Mamlakatimiz yarimo'tkazgich sanoati va panel sanoati yuqori darajadagi farovonlikni saqlab kelmoqda. Panellar va yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish va qayta ishlashda ajralmas va eng katta hajmli maxsus elektron gaz sifatida azot triflorid keng bozor maydoniga ega.
Odatda ishlatiladigan ftor o'z ichiga olgan maxsus elektron gazlar kiradioltingugurt geksaflorid (SF6), volfram geksaflorid (WF6),uglerod tetraflorid (CF4), trifluorometan (CHF3), azot triflorid (NF3), heksaftoroetan (C2F6) va oktafloropropan (C3F8). Azot triflorid (NF3) asosan vodorod ftorid-ftoridli gazli yuqori energiyali kimyoviy lazerlar uchun ftor manbai sifatida ishlatiladi. H2-O2 va F2 orasidagi reaksiya energiyasining samarali qismi (taxminan 25%) lazer nurlanishi bilan ajralib chiqishi mumkin, shuning uchun HF-OF lazerlari kimyoviy lazerlar orasida eng istiqbolli lazer hisoblanadi.
Azot trifloridi mikroelektronika sanoatida ajoyib plazma qirqish gazidir. Kremniy va kremniy nitridini bo'yash uchun azot triflorid uglerod tetrafloridiga va uglerod tetraflorid va kislorod aralashmasidan ko'ra yuqori o'yma tezligi va selektivlikka ega va sirtni ifloslantirmaydi. Ayniqsa, qalinligi 1,5 um dan kam bo'lgan integral mikrosxemalar materiallarini bo'yashda, azot triflorid juda zo'r surtish tezligi va selektivlikka ega, chizilgan ob'ekt yuzasida hech qanday qoldiq qoldirmaydi va shuningdek, juda yaxshi tozalash vositasidir. Nanotexnologiyaning rivojlanishi va elektronika sanoatining keng ko'lamli rivojlanishi bilan unga talab kundan-kunga oshadi.
Ftor o'z ichiga olgan maxsus gazning bir turi sifatida azot triflorid (NF3) bozordagi eng yirik elektron maxsus gaz mahsulotidir. Xona haroratida kimyoviy jihatdan inert, kisloroddan faolroq, ftorga qaraganda barqaror va yuqori haroratda ishlov berish oson.
Azot triflorid asosan yarimo'tkazgich chiplari, yassi panelli displeylar, optik tolalar, fotovoltaik hujayralar va boshqalar kabi ishlab chiqarish sohalari uchun mos bo'lgan plazma qirqish gazi va reaktsiya kamerasini tozalash vositasi sifatida ishlatiladi.
Boshqa ftor o'z ichiga olgan elektron gazlar bilan solishtirganda, azot triflorid tezkor reaktsiya va yuqori samaradorlik afzalliklariga ega, ayniqsa kremniy nitridi kabi kremniy o'z ichiga olgan materiallarni qirqishda, u yuqori o'yma tezligi va selektivlikka ega, o'yilgan ob'ekt yuzasida hech qanday qoldiq qoldirmaydi, shuningdek, sirtni tozalash va tozalash uchun juda yaxshi vositadir. jarayon.
Yuborilgan vaqt: 26-dekabr 2024-yil
