Ftor o'z ichiga olgan keng tarqalgan maxsus elektron gazlar quyidagilarni o'z ichiga oladioltingugurt geksafloridi (SF6), volfram geksaflorid (WF6),uglerod tetraflorid (CF4), triflorometan (CHF3), azot triflorid (NF3), geksafloroetan (C2F6) va oktaftloropropan (C3F8).
Nanotexnologiya rivojlanishi va elektronika sanoatining keng ko'lamli rivojlanishi bilan unga bo'lgan talab kundan-kunga ortib boradi. Panellar va yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish va qayta ishlashda ajralmas va eng ko'p ishlatiladigan maxsus elektron gaz sifatida azot triflorid keng bozor maydoniga ega.
Ftor o'z ichiga olgan maxsus gaz turi sifatida,azot triflorid (NF3)eng katta bozor sig'imiga ega elektron maxsus gaz mahsulotidir. Xona haroratida kimyoviy jihatdan inert, yuqori haroratda kisloroddan faolroq, ftordan barqarorroq va ishlov berish oson. Azot triflorid asosan plazma o'ymakorligi gazi va reaksiya kamerasini tozalash vositasi sifatida ishlatiladi va yarimo'tkazgich chiplari, yassi panelli displeylar, optik tolalar, fotovoltaik elementlar va boshqalarni ishlab chiqarish sohalarida qo'llaniladi.
Boshqa ftor o'z ichiga olgan elektron gazlar bilan taqqoslaganda,azot trifloridtez reaksiya va yuqori samaradorlik kabi afzalliklarga ega. Ayniqsa, kremniy nitridi kabi kremniy o'z ichiga olgan materiallarni o'yishda, u yuqori o'yish tezligi va selektivlikka ega bo'lib, o'yilgan buyum yuzasida hech qanday qoldiq qoldirmaydi. Shuningdek, u juda yaxshi tozalash vositasi bo'lib, sirtni ifloslantirmaydi, bu esa qayta ishlash jarayonining ehtiyojlarini qondira oladi.
Nashr vaqti: 2024-yil 14-sentabr
