Umumiy ftorni o'z ichiga olgan maxsus elektron gazlar o'z ichiga oladiOltingugurt hexafluorid (SF6), volfram hexafluorid (WF6),Uglerod tetrafluorid (CF4), Trifluoretaman (ChF3), azotli Trifluorid (NF3), Hexafluoroetan (C2F6) va Octafluoroproope (C3F8).
Nanotexnologiya rivojlanishi va elektronika sanoatining keng ko'lamli rivojlanishi bilan kundan-kunga ko'tariladi. Azotning tifluoridi, panellar va yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish va qayta ishlashda ajralmas va eng katta foydalaniladigan maxsus elektron gaz keng bozor maydoniga ega.
Ftorni o'z ichiga olgan maxsus gaz turlari sifatida,Azot Trifluorid (NF3)Eng yirik bozor sig'imiga ega elektron maxsus gaz mahsuloti. Bu xona haroratida, yuqori haroratda kisloroddan ko'ra faolroq, ftordan ko'ra qulayroq va osonlik bilan ishlov berish oson. Azotni trifluorid asosan plazmali plazma va reaktsion vositasi sifatida ishlatiladi va yarimo'tkazgichli chiplar, tekis panelli displeylar, optik tolalar, optik tolalar, fotovoltaik hujayralar va boshqalar uchun mos keladi.
Boshqa ftor gazlari bilan taqqoslaganda,Azotni trifluoridtez reaktsiya va yuqori samaradorlikning afzalliklariga ega. Ayniqsa, kremniy nitridi kabi kremniy tarkibidagi materiallarni yuqori etaklash stavkasi va tanlab olish darajasi yuqori, tim -entlik va teatlangan ob'ekt yuzasida qoldiq qoldirmaydi. Bu shuningdek juda yaxshi tozalash vositasidir va qayta ishlash jarayonining ehtiyojlarini qondirishi mumkin bo'lgan sirtda ifloslanish yo'q.
O'tish vaqti: sep-14-2024
