Umumiy ftor o'z ichiga olgan maxsus elektron gazlar kiradioltingugurt geksaflorid (SF6), volfram geksaflorid (WF6),uglerod tetraflorid (CF4), trifluorometan (CHF3), azot triflorid (NF3), heksaftoroetan (C2F6) va oktafloropropan (C3F8).
Nanotexnologiyaning rivojlanishi va elektronika sanoatining keng ko'lamli rivojlanishi bilan unga talab kundan-kunga oshadi. Panellar va yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish va qayta ishlashda ajralmas va eng ko'p ishlatiladigan maxsus elektron gaz sifatida azot triflorid keng bozor maydoniga ega.
Ftor o'z ichiga olgan maxsus gaz turi sifatida,azot triflorid (NF3)eng katta bozor sig'imiga ega bo'lgan elektron maxsus gaz mahsulotidir. Xona haroratida kimyoviy jihatdan inert, yuqori haroratda kisloroddan faolroq, ftorga qaraganda barqaror va ishlov berish oson. Azot triflorid, asosan, plazma bilan ishlov berish gazi va reaksiya kamerasini tozalash vositasi sifatida ishlatiladi va yarimo'tkazgich chiplari, tekis panelli displeylar, optik tolalar, fotovoltaik hujayralar va boshqalarni ishlab chiqarish uchun javob beradi.
Boshqa ftor o'z ichiga olgan elektron gazlar bilan solishtirganda,azot trifloridtez reaktsiya va yuqori samaradorlik afzalliklariga ega. Ayniqsa, kremniy nitridi kabi kremniy o'z ichiga olgan materiallarni qirqishda u yuqori surtish tezligi va selektivlikka ega bo'lib, o'yilgan ob'ekt yuzasida hech qanday qoldiq qoldirmaydi. Bundan tashqari, u juda yaxshi tozalash vositasi bo'lib, sirtni ifloslantirmaydi, bu esa ishlov berish jarayonining ehtiyojlarini qondira oladi.
Yuborilgan vaqt: 2024 yil 14-sentabr
