Sulfur hexafluoride is a gas with excellent insulating properties and is often used in high-voltage arc extinguishing and transformers, high-voltage transmission lines, transformers, etc. However, in addition to these functions, sulfur hexafluoride can also be used as an electronic etchant. Elektron tozalyalik poklinlik oltingugurt hexafluorid - bu mikroelektronika texnologiyalari sohasida keng qo'llaniladigan ideal elektron etchant. Bugungi kunda NIU revidiy gaz muharriri Yueyue kremnid gitridi va turli parametrlarning ta'siri bilan oltingugurtli hexafluoridning arizasini taqdim etadi.
Sf6 plazma jarayonini, shuningdek, plazma kuchini almashtirish va SF6 / O2 Plazma va SF6-ning kontsentratsiyasini muhokama qilamiz Stavkani baholang va Sinx-ürtülment stavkasini va plazma turlarini konsentratsiyaning o'zgarishi o'rtasidagi munosabatlarni o'rganing.
Tadqiqotlar shuni ko'rsatdiki, plazma kuchi oshganda, etching tezligi oshadi; Agar plazmadagi SF6 oqimi ko'paysa, f atom kontsentratsiyasi kuchayadi va etching stavkasi bilan ijobiy bog'liqdir. Bundan tashqari, asosiy oqim stavkasi ostida kationi gaz O2 qo'shgandan so'ng, u 3 qismga bo'linishi mumkin: (1) O2 -0 / SF6 oqim nisbati shundaki, O2-ni uch qismga bo'linadi va bu vaqtda o2 qo'shilmaydi. (2) O2 / SF6 oqim nisbati 1 ga yaqinlashganda, bu vaqtda SF6-ning f atomlarini shakllantirish uchun ko'p miqdorda displeyning ko'p miqdorida tarqalishi eng yuqori hisoblanadi; Ammo shu bilan birga, plazmadagi o atomlar ko'paymoqda va SioX yoki Sinxo (YX) ni sinx kino yuzasi bilan hosil qilish va o atomlarning ko'payishi oson. Shuning uchun, o2 / sf6 nisbati 1 ga yaqin bo'lganida, etching stavkasi pasaya boshlaydi. (3) O2 / SF6 nisbati 1 dan katta bo'lganda, etching stavkasi kamayadi. O2 ning katta o'sishi tufayli, f atomlari O2 va shakllari bilan to'qnashdi va f atomlarining kontsentratsiyasini kamaytiradi, natijada va punktning pasayishiga olib keladi. Buni undan O2 qo'shilgan bo'lsa, O2 / SF6 ning oqim nisbati 0,2 dan 0,8 gacha, eng yaxshi etching stavkasi olinishi mumkin.
Post vaqti: 06-2021
