Volfram gexafluorid (WF6) tvorogning o'zaro bog'liq xandaqlarini to'ldirish va qatlamlar orasidagi metall o'zaro bog'liqligini hosil qiladi.
Avval plazma haqida gaplashaylik. Plazma - asosan erkin elektron va zaryadlangan ionlardan iborat materiya shakli. U koinotda keng tarqalgan va ko'pincha materiyaning to'rtinchi holati deb hisoblanadi. U plazma holati deb ataladi, shuningdek "plazma" deb nomlanadi. Plazma yuqori elektr o'tkazuvchanligiga ega va elektromagnit maydon bilan kuchli birlashtirilgan effektga ega. Bu, bu elektron, ionlar, erkin radikallar, neytral zarralar va fotonslardan iborat qisman ionli gaz. Plazmaning o'zi jismoniy va kimyoviy faol zarralarni o'z ichiga olgan elektr neytral aralashmasi.
To'g'ri tushuntirish shundaki, yuqori energiya ta'sirida, molekulalar van der Waals kuchini, kimyoviy obligatsiya kuchlarini va umuman elektr energiyasini qondiradi. Shu bilan birga, tashqi tomondan etkazilgan yuqori energiya yuqoridagi uchta kuchni engdi. Funktsiya, elektron va ionlar erkin holatni taqdim etadi, masalan, magnit maydonni modulyatsiya qilish, masalan, CVD jarayoni, PVD va IMP jarayonlari kabi sun'iy ravishda qo'llanilishi mumkin.
Yuqori energiya nima? Nazariy jihatdan yuqori harorat va yuqori chastota rf ishlatilishi mumkin. Umuman olganda, yuqori haroratga erishish deyarli mumkin emas. Ushbu harorat talabi juda yuqori va quyosh haroratiga yaqin bo'lishi mumkin. Bu tartibda erishish mumkin emas. Shuning uchun, soha odatda erishish uchun yuqori chastotali RFdan foydalanadi. Plazma RF 13mhz + kabi yuqori bo'lishi mumkin.
Volfram exafluorid elektr maydonining ta'siri ostida plasmalangan, keyin magnit maydon bilan to'ldirilgan bug '. Vtomlar qishki g'oz patlar singari va tortishish ta'sirida erga tushadi. Sekin-asta attomlar teshiklar orqali to'plangan va nihoyat metallning o'zaro bog'liqliklarini shakllantirish uchun teshiklar orqali to'ldirilgan. WH atomlarini teshiklar orqali saqlash bilan bir qatorda, ular ham gumonning yuzasiga ham saqlashadimi? Ha, albatta. Umuman olganda, siz W-CMP jarayonidan foydalanishingiz mumkin, bu biz mexanik silliqlash jarayonini olib tashlash uchun nima deb ataymiz. Bu kuchli qordan keyin polni supurish uchun cho'tkani ishlatishga o'xshaydi. Erdagi qor yo'q bo'lib ketadi, lekin er ostidagi teshikdagi qor qoladi. Pastga, taxminan bir xil.
O'tish vaqti: 1-Dekabrdan 1-2021
