Elektronmaxsus gazlarmaxsus gazlarning muhim tarmog‘i hisoblanadi. Ular yarimo'tkazgich ishlab chiqarishning deyarli barcha bo'g'inlariga kirib boradi va ultra keng ko'lamli integral mikrosxemalar, tekis panelli displey qurilmalari va quyosh batareyalari kabi elektron sanoatni ishlab chiqarish uchun ajralmas xom ashyo hisoblanadi.

Yarimo'tkazgich texnologiyasida ftor o'z ichiga olgan gazlar keng qo'llaniladi. Hozirgi vaqtda jahon elektron gaz bozorida ftor o'z ichiga olgan elektron gazlar umumiy hajmning taxminan 30% ni tashkil qiladi. Ftor o'z ichiga olgan elektron gazlar elektron axborot materiallari sohasida maxsus elektron gazlarning muhim tarkibiy qismidir. Ular asosan tozalash vositalari va etching agentlari sifatida ishlatiladi, shuningdek, dopantlar, plyonka hosil qiluvchi materiallar va boshqalar sifatida ishlatilishi mumkin. Ushbu maqolada muallif sizni umumiy ftor o'z ichiga olgan gazlarni tushunishga olib boradi.

Quyida ko'pincha ftor o'z ichiga olgan gazlar ishlatiladi

Azot triflorid (NF3): konlarni tozalash va olib tashlash uchun ishlatiladigan gaz, odatda reaksiya kameralari va uskunalar sirtini tozalash uchun ishlatiladi.

Oltingugurt geksaflorid (SF6): Oksidni yotqizish jarayonlarida va izolyatsion muhitni to'ldirish uchun izolyatsion gaz sifatida ishlatiladigan ftorlashtiruvchi vosita.

Vodorod ftoridi (HF): kremniy yuzasidan oksidlarni olib tashlash va kremniy va boshqa materiallarni o'chirish uchun o'chirish uchun ishlatiladi.

Azot ftorid (NF): kremniy nitridi (SiN) va alyuminiy nitridi (AlN) kabi materiallarni o'rash uchun ishlatiladi.

Triflorometan (CHF3) vatetraflorometan (CF4): Silikon ftorid va alyuminiy ftorid kabi ftoridli materiallarni o'ymak uchun ishlatiladi.

Biroq, ftor o'z ichiga olgan gazlar ma'lum xavflarga ega, jumladan toksiklik, korroziylik va yonuvchanlik.

Toksiklik

Ba'zi ftor o'z ichiga olgan gazlar toksikdir, masalan, vodorod ftorid (HF), ularning bug'lari teri va nafas olish yo'llarini juda bezovta qiladi va inson salomatligi uchun zararli.

Korrozivlik

Vodorod ftoridlari va ba'zi ftoridlar juda korroziydir va teriga, ko'zlarga va nafas olish yo'llariga jiddiy zarar etkazishi mumkin.

Yonuvchanlik

Ba'zi ftoridlar yonuvchan bo'lib, havodagi kislorod yoki suv bilan reaksiyaga kirishib, kuchli issiqlik va zaharli gazlarni chiqaradi, bu esa yong'in yoki portlashga olib kelishi mumkin.

Yuqori bosim xavfi

Ba'zi ftorli gazlar yuqori bosim ostida portlovchi bo'lib, foydalanish va saqlashda alohida e'tibor talab qiladi.

Atrof-muhitga ta'siri

Ftor o'z ichiga olgan gazlar atmosfera ozon qatlamiga halokatli ta'sir ko'rsatadigan va global isish va atrof-muhit ifloslanishiga olib kelishi mumkin bo'lgan yuqori atmosfera umri va GWP qiymatlariga ega.

Gazlarni elektronika kabi rivojlanayotgan sohalarda qo'llash chuqurlashishda davom etmoqda va sanoat gazlariga katta miqdordagi yangi talabni keltirib chiqarmoqda. Kelgusi bir necha yil ichida materik Xitoyda yarimo'tkazgichlar va displey panellari kabi asosiy elektron komponentlarning katta hajmdagi yangi ishlab chiqarish quvvati, shuningdek, elektron kimyoviy materiallarning import o'rnini bosuvchi kuchli talab asosida mahalliy elektron gaz sanoati boshlanadi. yuqori o'sish sur'ati.