Elektronmaxsus gazlarmaxsus gazlarning muhim tarmog'idir. Ular yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishning deyarli barcha bo'g'inlariga kirib boradi va ultra katta o'lchamli integral mikrosxemalar, yassi panelli displey qurilmalari va quyosh batareyalari kabi elektron sanoatini ishlab chiqarish uchun ajralmas xom ashyo hisoblanadi.

Yarimo'tkazgichlar texnologiyasida ftor tutgan gazlar keng qo'llaniladi. Hozirgi vaqtda global elektron gaz bozorida ftor tutgan elektron gazlar umumiy hajmning taxminan 30% ni tashkil qiladi. Ftor tutgan elektron gazlar elektron axborot materiallari sohasida maxsus elektron gazlarning muhim tarkibiy qismi hisoblanadi. Ular asosan tozalash vositalari va o'yib ishlov berish vositalari sifatida ishlatiladi, shuningdek, qo'shimchalar, plyonka hosil qiluvchi materiallar va boshqalar sifatida ham ishlatilishi mumkin. Ushbu maqolada muallif sizni keng tarqalgan ftor tutgan gazlarni tushunishga yordam beradi.

Quyida keng tarqalgan ftor o'z ichiga olgan gazlar keltirilgan

Azot triflorid (NF3): Odatda reaksiya kameralari va uskunalar sirtlarini tozalash uchun ishlatiladigan, cho'kmalarni tozalash va olib tashlash uchun ishlatiladigan gaz.

Oltingugurt geksafloridi (SF6)Oksid cho'ktirish jarayonlarida va izolyatsiyalovchi muhitni to'ldirish uchun izolyatsion gaz sifatida ishlatiladigan ftorlovchi vosita.

Vodorod ftorid (HF): Kremniy yuzasidan oksidlarni olib tashlash va kremniy va boshqa materiallarni o'yib ishlov berish uchun o'ymakor sifatida ishlatiladi.

Azot ftorid (NF): Kremniy nitridi (SiN) va alyuminiy nitridi (AlN) kabi materiallarni o'yib ishlov berish uchun ishlatiladi.

Triflorometan (CHF3) vatetraflorometan (CF4): Kremniy ftorid va alyuminiy ftorid kabi ftorid materiallarini aşındırmak uchun ishlatiladi.

Biroq, ftor o'z ichiga olgan gazlar ma'lum xavflarga ega, jumladan, toksiklik, korroziya va yonuvchanlik.

Toksiklik

Ba'zi ftor o'z ichiga olgan gazlar, masalan, vodorod ftorid (HF) zaharli bo'lib, uning bug'i teri va nafas yo'llarini juda tirnash xususiyati qiladi va inson salomatligi uchun zararli.

Korroziyaga chidamlilik

Vodorod ftorid va ba'zi ftoridlar juda korroziv bo'lib, teriga, ko'zlarga va nafas yo'llariga jiddiy zarar etkazishi mumkin.

Yonuvchanlik

Ba'zi ftoridlar yonuvchan bo'lib, havodagi kislorod yoki suv bilan reaksiyaga kirishib, kuchli issiqlik va zaharli gazlarni chiqaradi, bu esa yong'in yoki portlashga olib kelishi mumkin.

Yuqori bosim xavfi

Ba'zi ftorlangan gazlar yuqori bosim ostida portlovchi bo'lib, ulardan foydalanish va saqlashda alohida ehtiyotkorlik talab etiladi.

Atrof-muhitga ta'siri

Ftor o'z ichiga olgan gazlar yuqori atmosfera umriga va GWP qiymatlariga ega, ular atmosfera ozon qatlamiga halokatli ta'sir ko'rsatadi va global isish va atrof-muhit ifloslanishiga olib kelishi mumkin.

Elektronika kabi rivojlanayotgan sohalarda gazlarni qo'llash chuqurlashishda davom etmoqda va bu sanoat gazlariga katta miqdorda yangi talabni keltirib chiqarmoqda. Keyingi bir necha yil ichida Xitoyning materik qismida yarimo'tkazgichlar va displey panellari kabi asosiy elektron komponentlarning yangi ishlab chiqarish quvvatlarining katta miqdori, shuningdek, elektron kimyoviy materiallarning import o'rnini bosishga bo'lgan kuchli talab asosida mahalliy elektron gaz sanoati yuqori o'sish sur'atlarini ta'minlaydi.