ElektronMaxsus gazlarmaxsus gazlarning muhim tarmog'i. Ular yarimo'tkazgich ishlab chiqarishning deyarli barcha havolalariga kirib boradilar va ultra keng miqyosli integral mikrosxemalar, yassi panelli displey qurilmalari va quyosh hujayralari kabi elektron sanoat mahsulotlarini ishlab chiqarish uchun zaruriy xom ashyo kiradi.

Yarimo'tkazgich texnologiyasida ftorni o'z ichiga olgan gazlar keng qo'llaniladi. Hozirgi vaqtda global elektron gaz bozorida, ftorni o'z ichiga olgan ftorni umumiy qiymati 30 foizga teng. Freymine-o'z ichiga olgan elektron gazlar elektron axborot materiallari sohasidagi maxsus elektron gazlarning muhim tarkibiy qismidir. Ular asosan tozalash vositalari va etuklash agentlari sifatida ishlatiladi va ushbu moddada ham dopliklar, kino shakllanadigan materiallar va boshqalardan foydalanish mumkin.

Quyidagilar odatda ishlatiladigan ftorni o'z ichiga olgan gaz

Azot Trifluorid (NF3): Odatda tozalash va jihozlarni tozalash uchun ishlatiladigan gaz va jihozlar yuzalarida ishlatiladigan gaz.

Oltingugurt hexafluorid (SF6): Qisqichbaqasimonlarni yamabonlar va izolyatsiyalash vositalarini to'ldirish uchun izolyatsiya qiluvchi gaz sifatida ishlatiladigan floring vositasi.

Vodorod ftoridi (HF): kremiton sirtidan oksidlar va kremniy va boshqa materiallar uchun etchant sifatida olib tashlash uchun ishlatiladi.

Azot floridi (nf): Silikon Nitdid (Galty) va alyuminiy nitrid (alyuminiy) kabi ishlatiladi.

Trifluorometan (ChF3) vaTetrafluorometan (CF4): Silikon ftorid va alyuminiy ftorid kabi odatiy ftorid materiallari uchun ishlatiladi.

Biroq, ftorni o'z ichiga olgan gazlar aniq xavflarga ega, shu jumladan zaharqiy, korroz va yonadigan narsalar.

Toksiklik

Ba'zi ftorni o'z ichiga olgan gazlar toksik bo'lib, bug 'teri va nafas olish tizimiga va inson salomatligiga zarar etkazadigan vodorodli ftorid (HF).

Korroziylik

Vodorod ftorid va ba'zi ftorlar juda korroziy bo'lib, teriga jiddiy zarar etkazishi mumkin.

Xamirlik

Ba'zi ftorliklar yonadi va havoda kislorod yoki suv bilan reaktsiya yoki podik gazlar bilan reaktsiya qilishadi, bu esa yong'in yoki portlashga olib kelishi mumkin.

Yuqori bosimli xavf

Ba'zi florodlangan gazlar yuqori bosim ostida portlash va ishlatilganda va saqlanganda maxsus parvarish qilishni talab qiladi.

Atrof-muhitga ta'sir

Ftorlar tarkibidagi gazlar yuqori atmosfera umri va atmosfera ozonida halokatli ta'sir ko'rsatadigan va global isish va atrof-muhitning ifloslanishiga olib kelishi mumkin.

Elektronika kabi rivojlanayotgan maydonlarda gazlarni qo'llash sanoat gazlari uchun katta miqdordagi yangi talabni chuqurlashtirish, ishlab chiqarishda davom etmoqda. Keyingi bir necha yil ichida Ma'mur xitoylik xitoyliklar kabi yirik elektron komponentlarning yangi ishlab chiqarish quvvati, shuningdek, elektron kimyoviy moddalarni almashtirishga bo'lgan kuchli talab yuqori o'sish sur'atiga ko'tariladi.