Komponent | 99,9999% | Birlik |
Kislorod (Ar) | ≤0,1 | ppmV |
Azot | ≤0,1 | ppmV |
Vodorod | ≤20 | ppmV |
Geliy | ≤10 | ppmV |
CO+CO2 | ≤0,1 | ppmV |
THC | ≤0,1 | ppmV |
Xlorosilanlar | ≤0,1 | ppmV |
Disiloksan | ≤0,1 | ppmV |
Disilane | ≤0,1 | ppmV |
Namlik (H2O) | ≤0,1 | ppmV |
Silan kremniy va vodorod birikmasidir. Bu monosilan (SiH4), disilan (Si2H6) va ba'zi yuqori darajadagi kremniy-vodorod birikmalarini o'z ichiga olgan bir qator birikmalar uchun umumiy atama. Ular orasida monosilan eng keng tarqalgan bo'lib, ba'zan qisqacha silan deb ataladi. Silan - sarimsoqning jirkanch hidiga ega bo'lgan rangsiz gaz. Suvda eriydi, etanol, efir, benzol, xloroform, kremniy xloroform va kremniy tetraxloridda deyarli erimaydi. Silanlarning kimyoviy xossalari alkanlarga qaraganda ancha faol va oson oksidlanadi. Havo bilan aloqa qilganda o'z-o'zidan yonish sodir bo'lishi mumkin. 25 ° C dan past bo'lgan azot bilan reaksiyaga kirishmaydi va xona haroratida uglevodorod birikmalari bilan reaksiyaga kirishmaydi. Yong'in va silanning portlashi kislorod bilan reaktsiyaning natijasidir. Silan kislorod va havoga juda sezgir. Muayyan konsentratsiyaga ega silan ham -180 ° C haroratda kislorod bilan portlovchi reaksiyaga kirishadi. Silan yarimo'tkazgichli mikroelektronika jarayonlarida ishlatiladigan eng muhim maxsus gazga aylandi va turli mikroelektron plyonkalar, shu jumladan monokristal plyonkalar, mikrokristalin, polikristal, kremniy oksidi, kremniy nitridi va metall silisidlarini tayyorlashda qo'llaniladi. Silanning mikroelektronik ilovalari hali ham chuqur rivojlanmoqda: past haroratli epitaksiya, selektiv epitaksiya va heteroepitaksial epitaksiya. Faqat kremniy qurilmalari va kremniy integral mikrosxemalar uchun emas, balki aralash yarimo'tkazgichli qurilmalar (galliy arsenid, silikon karbid va boshqalar) uchun ham. Bundan tashqari, u yuqori panjarali kvant quduqlari materiallarini tayyorlashda qo'llaniladi. Aytish mumkinki, silan hozirgi zamonda deyarli barcha ilg'or integral mikrosxemalar ishlab chiqarish liniyalarida qo'llaniladi. Silanni kremniy o'z ichiga olgan plyonka va qoplama sifatida qo'llash an'anaviy mikroelektronika sanoatidan po'lat, mashinasozlik, kimyo va optika kabi turli sohalarga kengaydi. Silanning yana bir potentsial qo'llanilishi - bu yuqori samarali seramika dvigatel qismlarini ishlab chiqarish, ayniqsa silitsid (Si3N4, SiC va boshqalar) mikrochang texnologiyasini ishlab chiqarish uchun silandan foydalanish tobora ko'proq e'tiborni tortdi.
①Elektron:
Silan yarimo'tkazgichlar va plomba moddalarini ishlab chiqarishda silikon gofretlardagi polikristalli kremniy qatlamlariga qo'llaniladi.
②Quyosh:
Silan quyosh fotovoltaik modullarini ishlab chiqarishda qo'llaniladi.
③Sanoat:
Energiyani tejovchi yashil oynada qo'llaniladi va bug 'cho'ktirish nozik plyonka jarayonida qo'llaniladi.
Mahsulot | Silan SiH4 suyuqligi | |
Paket hajmi | 47 litrli silindr | Y-440L |
To'ldirish sof og'irligi/sill | 10 kg | 125 kg |
QTY 20'konteynerga yuklangan | 250 silindr | 8 silindr |
Umumiy sof vazn | 2,5 tonna | 1 tonna |
Tsilindrning og'irligi | 52 kg | 680 kg |
Vana | CGA632/DISS632 |
①Bozorda o'n yildan ortiq;
②ISO sertifikati ishlab chiqaruvchisi;
③Tez yetkazib berish;
④Barqaror xom ashyo manbai;
⑤Har bir bosqichda sifat nazorati uchun onlayn tahlil tizimi;
⑥Tsilindrni to'ldirishdan oldin ishlov berish uchun yuqori talab va sinchkovlik bilan ishlov berish;
⑦Purity: yuqori tozalik elektron darajasi;
⑧Foydalanish: quyosh batareyasi materiallari; yuqori poklikdagi polisilikon, kremniy oksidi va optik tola ishlab chiqarish; rangli shisha ishlab chiqarish.