Lazer gazi

Lazer gazi asosan elektronika sanoatida lazer bilan tavlash va litografiya gazi uchun ishlatiladi. Mobil telefon ekranlarining innovatsiyasi va qo'llanilish sohalarining kengayishidan foyda ko'rgan holda, past haroratli polisilikon bozorining ko'lami yanada kengayadi va lazer bilan tavlash jarayoni TFTlarning ish faoliyatini sezilarli darajada yaxshilaydi. Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish uchun ArF eksimer lazerida ishlatiladigan neon, ftor va argon gazlari orasida neon lazer gazi aralashmasining 96% dan ortig'ini tashkil qiladi. Yarimo'tkazgich texnologiyasining takomillashtirilishi bilan eksimer lazerlardan foydalanish ko'paydi va ikki tomonlama ta'sir qilish texnologiyasining joriy etilishi ArF eksimer lazerlari tomonidan iste'mol qilinadigan neon gaziga talabning keskin oshishiga olib keldi. Elektron maxsus gazlarni mahalliylashtirishni rag'batlantirishdan foyda ko'rgan mahalliy ishlab chiqaruvchilar kelajakda bozor o'sishi uchun yaxshiroq maydonga ega bo'ladilar.

Litografiya mashinasi yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishning asosiy uskunasidir. Litografiya tranzistorlarning o'lchamlarini belgilaydi. Litografiya sanoati zanjirining muvofiqlashtirilgan rivojlanishi litografiya mashinasining yutug'ining kalitidir. Fotorezist, fotolitografiya gazi, fotoniqob va qoplama va ishlab chiqish uskunalari kabi mos keladigan yarimo'tkazgich materiallari yuqori texnologik tarkibga ega. Litografiya gazi - bu litografiya mashinasi chuqur ultrabinafsha lazer ishlab chiqaradigan gaz. Turli litografiya gazlari turli to'lqin uzunlikdagi yorug'lik manbalarini ishlab chiqarishi mumkin va ularning to'lqin uzunligi litografiya mashinasining yadrolaridan biri bo'lgan litografiya mashinasining aniqligiga bevosita ta'sir qiladi. 2020-yilda litografiya mashinalarining umumiy global savdosi 413 donani tashkil etadi, shundan ASML savdosi 258 dona 62% ni, Canon savdosi 122 dona 30% ni va Nikon savdosi 33 dona 8% ni tashkil qiladi.