Lazer gazi asosan elektronika sanoatida lazerli tavlanish va litografiya gazi uchun ishlatiladi.Mobil telefon ekranlarining innovatsiyalaridan va dastur maydonlarining kengayishidan foydalangan holda, past haroratli polisilikon bozorining ko'lami yanada kengaytiriladi va lazerli tavlanish jarayoni TFTlarning ish faoliyatini sezilarli darajada yaxshilaydi.Yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish uchun ArF eksimer lazerida ishlatiladigan neon, ftor va argon gazlari orasida neon lazer gaz aralashmasining 96% dan ko'prog'ini tashkil qiladi.Yarimo'tkazgich texnologiyasining takomillashtirilishi bilan eksimer lazerlardan foydalanish ko'paydi va ikki marta ta'sir qilish texnologiyasining joriy etilishi ArF eksimer lazerlari tomonidan iste'mol qilinadigan neon gazga talabning keskin oshishiga olib keldi.Elektron maxsus gazlarni mahalliylashtirishni rag'batlantirishdan foydalangan holda, mahalliy ishlab chiqaruvchilar kelajakda bozor o'sishi uchun yaxshi maydonga ega bo'ladilar.
Litografiya mashinasi yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarishning asosiy uskunasidir.Litografiya tranzistorlar hajmini belgilaydi.Litografiya sanoati zanjirining muvofiqlashtirilgan rivojlanishi litografiya mashinasining yutug'ining kalitidir.Fotorezist, fotolitografiya gazi, fotomaska, qoplama va ishlab chiqarish uskunalari kabi mos keladigan yarimo'tkazgich materiallari yuqori texnologik tarkibga ega.Litografiya gazi - bu litografiya mashinasi chuqur ultrabinafsha lazer hosil qiladigan gaz.Turli litografiya gazlari turli to'lqin uzunlikdagi yorug'lik manbalarini ishlab chiqarishi mumkin va ularning to'lqin uzunligi litografiya mashinasining yadrolaridan biri bo'lgan litografiya mashinasining o'lchamlariga bevosita ta'sir qiladi.2020-yilda litografiya mashinalarining jami global sotuvi 413 donani tashkil etadi, ulardan ASML sotuvi 258 dona 62 foizni, Canon savdosi 122 dona 30 foizni va Nikon savdosi 33 dona 8 foizni tashkil qiladi.
Yuborilgan vaqt: 2021-yil 15-oktabr
